簡易檢索 / 詳目顯示

回結果列表
研究生： 吳沛勳
Pei-Hsun Wu
論文名稱： 側向生長方式成長之單根奈米碳管電性量測
The Electricity Measurement of a Single Carbon Nanotube Grown by Lateral Growth Method
指導教授： 呂助增
Juh-Tzeng Lue
口試委員:
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 電機資訊學院 - 電子工程研究所
Institute of Electronics Engineering
論文出版年： 2007
畢業學年度： 95
語文別： 中文
論文頁數： 61
中文關鍵詞： 奈米碳管 、側向生長 、電極保護層 、單電子電晶體 、庫倫阻斷 、庫倫震盪
相關次數： 點閱：3  下載：0 
分享至:
查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報

    • 摘要
    以成長方式製作單根跨過電極之多壁奈米碳管，製作成具有源極、汲極與閘極的元件並量測其在低溫下施加不同閘極偏壓的電流特性。此一成長單根跨過之奈米碳管使用新的製程所做出來的電極結構。電極上具有氧化鋁保護層，使電極在成長碳管時只從側邊成長跨過，電極接線部分不受影響。
    第一章為碳管簡介，第二章為實驗儀器介紹與實驗流程，第三章為所量測電流特性的相關理論，第四章為結果與討論。

    目錄 摘要 1 第一章 緒論 1.1 碳元素-------------------------------------------------------------------------2 1.2 奈米碳管簡介----------------------------------------------------------------3 1.3 奈米碳管的基本結構-------------------------------------------------------4 1.4 奈米碳管的基本電性結構-------------------------------------------------9 1.5 奈米碳管的製程方法------------------------------------------------------11 1.6 奈米碳管的成長機制------------------------------------------------------14 第二章 實驗方法 2.1實驗儀器 2.1.1圖像轉移----------------------------------------------------------------------------19 2.1.2光罩對準儀-------------------------------------------------------------------------21 2.1.3直流濺鍍與磁控濺鍍系統之構造--------------------------------------------- 22 2.1.4微波電漿輔助化學氣相沉積系統----------------------------------------------23 2.1.5掃描式電子顯微鏡----------------------------------------------------------------25 2.1.6電性量測系統----------------------------------------------------------------------27 2.2實驗步驟 2.2.1圖像轉移----------------------------------------------------------------------------30 2.2.2沉積催化劑與電極保護層-------------------------------------------------------31 2.2.3背電極製作-------------------------------------------------------------------------31 2.2.4以MPE-CVD成長奈米碳管---------------------------------------------------31 2.2.5量測低溫電性----------------------------------------------------------------------32 第三章 實驗結果相關理論 3.1一維奈米碳管的電性傳輸理論------------------------------------------33 3.2單電子電晶體---------------------------------------------------------------34 3.3庫倫阻斷與庫倫震盪------------------------------------------------------36 第四章 實驗分析及討論 4.1新結構的改變-----------------------------------------------------------------42 4.2量測數據分析-----------------------------------------------------------------46 結論 58 參考資料 59

    參考資料
    [1] G. Savage, “Carbon-Carbon Composites”, (Chapman＆Hall, Lodon, 1993), Chap 1.
    [2] S. Iijima, Nature (London) 354, 56 (1991).
    [3] Kazuyoshi Tanaka, et al., “The Science and Technology of Carbon Nanotubes”, (Elsevier, NY, 1999), Chap 5.
    [4] 張立德，奈米材料，五南圖書出版公司，2002。
    [5] Ray H. Baughman et al., Science 297, 787(2002).
    [6] S. Iijima and T. Ichihashi, Nature (London) 363, 603(1993).
    [7] R. Saito, “Physical Properties of Carbon Nanotubes”, (Imperial College Press, Lodon, 1998), Chap 4.
    [8] Peter J. F. Harris, “Carbon Nanotubes and Related Structures”, (Cambridge University Press, NY, 1999), Chap 4.
    [9] Satio, R., et al., Appl. Phys. Lett. 60, 2204(1992).
    [10] Y. Saito, Carbon 33, 979(1995).
    [11] T. Guo, et al., Chem. Phys. Lett. 243, 49(1995).
    [12] R. Sen, et al., Chem. Phys. Lett. 267, 276(1997).
    [13] S. Fan, et al., Science 283, 512(1999).
    [14] C. J. Lee and J. Park, Appl. Phys. Lett. 77, 3397(2000).
    [15] Z. F. Ren, et al., Science 282, 1105(1998).
    [16] C. Bower, et al., Appl. Phys. Lett. 77, 830(2000).
    [17] D. S. Bethune, et al., Nature 603, 363(1993).
    [18] A. S. Lobach, et al., Physics of the Solid State 44, 475(2002).
    [19] R. E. Smally, et al., Chem. Phys. Lett. 243, 49(1995).
    [20] R. Sen, et al., Chem. Phys. Lett. 267, 276(1997).
    [21] S. Fan, et al., Science 283, 512(1999).
    [22] Z. F. Ren, et al., Science 282, 1105(1998).
    [23] C. Bower, et al., Appl. Phys. Lett. 77, 830(2000).
    [24] V. Ivanov, et al., Chem. Phys. Lett. 233, 329(1994).
    [25] T. Kyotani, et al., Chem. Mater. 8, 2109(1996).
    [26] B. K. Pradhan, et al., Chem. Mater. 10, 2510(1998).
    [27] G. Che, et al., Chem. Mater. 10, 260(1998).
    [28] Y. Y. Wei, et al., Appl. Phys. Lett. 78, 1394(2001).
    [29] 賴耿陽，碳材料化學與工學，1, 95 (2001)
    [30] R. T. K. Baker, P. S. Harris, R. B. Thomas, and R. J. Waite, J. Catal., 30, 86 (1973)
    [31] A. Oberlin, M. Endo, and T. Koyama, Jap. J. Appl. Phys., 16 (9), 1519 (1997)
    [32] R. T. K. Barker, J. R. Alonzo, and J. A. Dumesic, J. Catal., 771, 74 (1982)
    [33] W. L. Holstein, and M. Boudart, Rev. Latinoam Ing. Quim. Quim. Apl., 132, 107 (1983)
    [34] O. A. Louchev, Y. Sato, and H. Kanda, Appl. Phys. Lett., 80, 2752 (2002)
    [35] F. G. Celii and J. E. Butler, Appl. Phys. Lett. 54,
    1031(1989)
    [36] 彭志維”清華大學 物理研究所 碩士論文”
    1031(1989)
    [37] Hamada N, Sawada SI, Oshiyama A.Phys Rev Lett.1992,68:1579
    [38] Mintmire JW,Dunlap BI,White CT.Phys Rev Lett.1992,68:631
    [39] Saito R,Fujita M,Dresselhaus MS.Appl Phys Lett.1992,60
    :2204
    [40] Charlier JC,Michenaud JP.Phys Rev Lett.1993,73:494
    [41] 陳啟東”單電子電晶體簡介，物理雙月刊（廿六卷三期）2004 年6 月”
    [42] Po-Wen Chiu, Towards Carbon Nanotube-based Molecular Electronics, Die Dissertation wurde am 10. 06. 2003 bei der Technischen Universit¨at M¨unchen eingereicht und durch die Fakult¨at f¨ur Physik am 23. 07. 2003 angenommen.
    [43] 張倫瑋”清華大學 物理研究所 碩士論文”
    [44] 陳思伯”清華大學 物理研究所 碩士論文”
    [46] Ulas C. Coskun, Tzu-Chieh Wei, Smitha Vishveshwara, Paul M. Goldbart, and Alexey Bezryadin, h/e Magnetic Flux Modulation of the Energy Gap in Nanotube Quantum Dots, Science 21 May 2004 304: 1132-1134 [DOI: 10.1126/science.

    無法下載圖示 全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)
    全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)

    QR CODE