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| 研究生： |
蔡秉宏 Jack P.H. Tsai |
|---|---|
| 論文名稱： |
鉿氧氮閘介電層金氧半電晶體特性及其電漿效應研究 Characteristics and Plasma effects on MOSFET Devices with HfOxNyGate Dielectrics |
| 指導教授： |
李四海 博士
S.H. Li 張廖貴術 博士 Kuei-Shu Chang-Liao |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2003 |
| 畢業學年度： | 91 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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