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| 研究生： |
吳晏如 Wu, Yan-Ru. |
|---|---|
| 論文名稱： |
合成具有烯基官能基之金屬錫團簇光阻材料並應用於電子束與極紫外光微影技術 Synthesis Tin Clusters Photoresist Materials with Alkenyl Functional Group and Applied to Electron Beam and Extreme Ultraviolet Lithography |
| 指導教授： |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
| 口試委員: |
邱博文
Chiu, Po-Wen 高蔡勝 Kao, Tsai Sheng 林俊宏 Lin, Chun-Hung |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 110 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 256 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2027/07/31 (校內網路)全文公開日期 2027/07/31 (校外網路)