研究生: |
林庭安 Lin, Ting-An. |
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論文名稱: |
開發錫、鎵金屬團簇與鋅金屬聚合物之合成並應用於電子束微影及極紫外光干涉微影技術 Development of Tin, Gallium Metal Clusters and Zinc Metal Polymers for Electron Beam and Extreme Ultraviolet Interference Lithography |
指導教授: |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
口試委員: |
高蔡勝
Kao, Tsai-Sheng 林俊宏 Lin, Chun-Hung |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
論文出版年: | 2022 |
畢業學年度: | 110 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 240 |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
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