研究生: |
蕭怡禎 Hsiao, Yi-Chen |
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論文名稱: |
以移動式窗格決策型虛擬量測架構優化在量測延遲下先進製程控制之實證研究 Moving Window Decision-based Virtual Metrology Framework for Optimizing Advanced Process Control in Metrology Delay and an Empirical Study |
指導教授: |
簡禎富
Chien, Chen-Fu |
口試委員: |
陳暎仁
Chen, Ying-Jen 曾勝滄 TSENG, Sheng-Tsiang |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 工業工程與工程管理學系 Department of Industrial Engineering and Engineering Management |
論文出版年: | 2023 |
畢業學年度: | 111 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 39 |
相關次數: | 點閱:3 下載:0 |
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