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| 研究生： |
徐浩瀚 Hao-Han Hsu |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用矽在絕緣層上的晶圓及感應式活性離子蝕刻製作多層高深寬比單晶矽梳型致動器 Multi-level High-aspect Ratio Single Crystal Combdrive Actuator Using SOI Wafer and ICPRIE |
| 指導教授： |
黃瑞星
Ruey-Shing Star Huang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2002 |
| 畢業學年度： | 90 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 48 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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