Teflon為碳氟結構極為完整的長鍊高分子聚合物，具有良好的化學性質(抗強酸、強鹼)、電氣性質(電極絕緣、高頻基板材料)，以及易加工等特性，在工業上的用途很廣。但由於碳氟鍵結很強，使得表面呈疏水性，不易與其他材料接合，若加以表面改質能夠更廣泛的使用於生醫、化工、材料等用途。
PIII表面改質技術使用負偏壓加速電漿內的正離子轟擊試片表面，造成表面鍵結的斷裂而形成碳的懸鍵，暴露在大氣中，不穩定的懸鍵和氧分子加以反應，鍵結成親水的官能基(C=O)，水滴角量測由103o降到60o附近。但由於PIII的機制對斷鍵發生較無選擇性，容易在表面產生短鍊結構。
將處理完的試片經過丙酮清洗，去除表面的短鍊分子可以發現其組成主要為C=O的鍵結，但對於物質表面的特性則需進一步的探討。而去除短鍊分子的試片可以由ESCA表面分析看出稍深層的CF2鍵結，其親水性沒有太大的變化(水滴角量測仍為60度附近)。

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