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| 研究生： |
王辰馨 Wang, Chen-Hsin |
|---|---|
| 論文名稱： |
藉由原子層氣相沉積氮化鉭與回春現象提升鐵電電容的可靠度及介面品質 Improved Reliability for Ferroelectric Capacitor and Interface Quality by Atomic Layer Deposited Tantalum Nitride and Rejuvenation Phenomenon |
| 指導教授： |
巫勇賢
Wu, Yung-Hsien |
| 口試委員: |
李耀仁
Lee, Yao-Jen 吳永俊 Wu, Yung-Chun |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 71 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2028/09/24 (校內網路)全文公開日期 2028/09/24 (校外網路)