簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
王宏鍇 Wang, Hung-Kai |
|---|---|
| 論文名稱： |
半導體製造之動態調整的比例積分控制器及線寬與覆蓋誤差之實證研究 A Dynamic Adjusted Proportional-Integral Controller for Semiconductor Manufacturing and an Empirical Study of Critical Dimension and Overlay Errors |
| 指導教授： |
簡禎富
Chien, Chen-Fu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 工業工程與工程管理學系 Department of Industrial Engineering and Engineering Management |
| 論文出版年： | 2010 |
| 畢業學年度： | 98 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 91 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)