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| 研究生： |
謝明曉 |
|---|---|
| 論文名稱： |
(AlCrNbSiTi)N薄膜田口法最佳化之研究 Study on The Optimization of (AlCrNbSiTi)N Films by Taguchi Method |
| 指導教授： | 葉均蔚 |
| 口試委員: |
楊智超
曹春暉 張守一 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2011 |
| 畢業學年度： | 99 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 150 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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