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| 研究生： |
李凱旋 Lee, Kai-Sheun |
|---|---|
| 論文名稱： |
以液態氮快速冷卻法改善 HfZrOx 鐵電電容之鐵電特性 Improving Ferroelectric Characteristics for HfZrOx -based Ferroelectric Capacitor By Liquid Nitrogen (LN2) Quenching |
| 指導教授： |
巫勇賢
Wu, Yung-Hsien |
| 口試委員: |
李耀仁
Lee, Yao-Jen 吳永俊 Wu, Yung-Chun |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 52 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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全文公開日期 2028/07/29 (校內網路)全文公開日期 2028/07/29 (校外網路)