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研究生: 劉庭瑋
論文名稱: 多元碳化物薄膜及多元碳氮化物薄膜之結構與性質研究
Study on the Microstructure and Properties of Multi-element Carbide and Carbonitride Thin Films
指導教授: 林樹均
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 材料科學工程學系
Materials Science and Engineering
論文出版年: 2009
畢業學年度: 97
語文別: 中文
論文頁數: 133
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