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| 研究生： |
高唯甯 Kao, Wei-Ning |
|---|---|
| 論文名稱： |
藉由漸層式堆疊氧化鋯鉿薄膜以改善鐵電電晶體元件效能及可靠度 Improved Performance and Reliability of Ferroelectric Field Effect Transistors by Composition Gradient Stacked Hf1-XZrXO2 Films |
| 指導教授： |
巫勇賢
Wu, Yung-Hsien |
| 口試委員: |
吳永俊
Wu, Yung-Chun 吳添立 Wu, Tian-Li |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
半導體研究學院 - 半導體研究學院 College of Semiconductor Research |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 68 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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全文公開日期 2029/07/30 (校內網路)全文公開日期 2029/07/30 (校外網路)