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| 研究生： |
童韻樺 |
|---|---|
| 論文名稱： |
原子層化學氣相沉積HfO2氧化薄膜於矽晶表面鈍化特性研究 Silicon Surface Passivation with ALCVD HfO2 Dielectric Thin Film |
| 指導教授： | 甘炯耀 |
| 口試委員: |
陳頤承
熊昌鉑 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2014 |
| 畢業學年度： | 102 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 48 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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