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| 研究生： |
林坤龍 Kuen-Long Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
在銅導線製程以氮化鉭薄膜做為擴散屏障之可行性評估 Evaluation of the Capability for Ta-N System as a Diffusion Barrier in Copper interconnection |
| 指導教授： |
杜正恭
Jenq-Gong Duh |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 144 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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