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| 研究生： |
楊凱崴 Yang, Kai-Wei |
|---|---|
| 論文名稱： |
互補式金氧半鰭式電晶體後端製程電漿感應充電效應暨區域變異性之研究 A Study of Plasma Induced Charging Effect in CMOS FinFET BEOL Processes and Local Variation Analysis |
| 指導教授： |
金雅琴
King, Ya-Chin |
| 口試委員: |
林崇榮
Lin, Chrong-Jung 施教仁 Shih, Jiaw-Ren |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 110 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 63 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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