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| 研究生： |
楊晟彣 Yang, Chang-Wen |
|---|---|
| 論文名稱： |
IV B族金屬團簇材料合成與開發並應用於電子束微影與極紫外光微影技術 Synthesis and Development of Group IV B Metal Clusters and Apply to Electron Beam and Extreme Ultraviolet Lithography |
| 指導教授： |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
| 口試委員: |
高蔡勝
Gau, Tsi-Sheng 許博淵 Shew, Bor-Yuan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 121 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2028/07/16 (校內網路)全文公開日期 2028/07/16 (校外網路)