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| 研究生： |
尤君平 You, Jiun-Pyng |
|---|---|
| 論文名稱： |
以鉬金屬薄膜促進鈷矽化物在矽晶上磊晶成長及其熱穩定性之研究 Epitaxial Growth and Thermal Stability of CoSi2 on (001)Si Substrate with an Interposing Mo Layer |
| 指導教授： |
陳力俊
Chen, Lih-Juann |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 85 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 74 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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