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| 研究生： |
賴亭潔 Lai, Ting-Chieh |
|---|---|
| 論文名稱： |
藉由沉積後退火製程與介面工程開發高可靠度之鐵電電容及應用於多位元儲存操作 Improved Reliability for BEOL Compatible Ferroelectric Capacitor with 3 bits/cell Storage Capability by Interface Engineering and Post Deposition Annealing |
| 指導教授： |
巫勇賢
Wu, Yung-Hsien |
| 口試委員: |
蘇俊榮
Su, Chun-Jung 吳永俊 Wu, Yung-Chun |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 110 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 74 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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全文公開日期 2027/08/21 (校內網路)全文公開日期 2027/08/21 (校外網路)