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研究生: 楊恕
Yang, Shu
論文名稱: 形成極大型積體電路矽化淺接面之新方法
Novel Techniques to Form Silicided Shallow Junctions for Ultra- Large-Scale-Integrated(ULSI) Circuits
指導教授: 蘇青森;鄭晃忠
Su, Ching Shen; Cheng, Huang Chung
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 原子科學院 - 生醫工程與環境科學系
Department of Biomedical Engineering and Environmental Sciences
畢業學年度: 83
語文別: 英文
論文頁數: 08
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