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| 研究生： |
葉昕豪 Yeh, Hsin-Hao |
|---|---|
| 論文名稱： |
氮基化合物轉換二氧化矽效率在壓力與溫度變化時行為研究 Effects of annealing temperature and pressure on the nitride-based precursor conversion behaviors |
| 指導教授： |
吳孟奇
WU, MENG-CHYI |
| 口試委員: |
張連璧
李峰旻 陳尚甫 盧峙丞 廖均浩 |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 63 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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