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| 研究生： |
陳登荃 Chen, Teng-Chuan |
|---|---|
| 論文名稱： |
以斜方晶氧化鋯鉿實現可整合於後段製程之高效能金屬-絕緣層-金屬去耦合電容 Back-End Integrable On-Chip MIM Decoupling Capacitors Featuring High Capacitance with Low Leakage Current by Orthorhombic HfZrOx |
| 指導教授： |
巫勇賢
Wu, Yung-Hsien |
| 口試委員: |
李明昌
Li, Ming-Chang 吳添立 Wu, Tian-Li |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2017 |
| 畢業學年度： | 105 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 80 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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