研究生: |
黃嬿華 Huang, Yan-Hua |
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論文名稱: |
摻雜硼之矽鍺受應變影響以及磊晶後退火應用於鈦接觸電阻之電學特性研究 Electrical Properties of Ti / p-SiGe Contacts for Advanced PMOS Devices: Impact of Strain in SiGe:B and Post Epi Thermal Treatments |
指導教授: |
巫勇賢
Wu, Yung-Hsien Porret, Clement Porret, Clement Loo, Roger Loo, Roger |
口試委員: |
李耀仁
Lee, Yao-Jen 吳永俊 Wu, Yung-Chun 吳添立 Wu, Tian-Li |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
論文出版年: | 2019 |
畢業學年度: | 107 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 74 |
相關次數: | 點閱:3 下載:0 |
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