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研究生: 張正忠
Chang, Cheng-Chung
論文名稱: 藉由官能化的氧化鋅製作具選擇性且能即時偵測的一氧化氮感測器
Selective real-time nitric oxide detection by functionalized zinc oxide
指導教授: 洪勝富
Horng, Sheng-Fu
孟心飛
Meng, Hsin-Fei
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 電機資訊學院 - 光電工程研究所
Institute of Photonics Technologies
論文出版年: 2009
畢業學年度: 97
語文別: 中文
論文頁數: 77
中文關鍵詞: 一氧化氮感測器氧化鋅官能化氯化血紅素選擇性即時性可逆性
外文關鍵詞: nitric oxide, sensor, ZnO, functionalized, hemin, selective, real-time, reversible
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  • 1998年,Robert F. Furchgott、Louis J. Ignarro和 Ferid Murad三人由於發現一氧化氮(nitric oxide,NO)在人體心血管系統內扮演著重要的訊息分子而獲頒諾貝爾獎。一氧化氮同時控制血管平滑肌的舒張、防止血小板彼此間聚集,及維護體內免疫系統規律。自此之後,一氧化氮感測器(NO sensor)在生理上便有著極大的研究價值。
    有鑑於此,製作出一個具備即時性、化學選擇性、固態特性、低成本以及操作在室溫下的一氧化氮感測器為首要目標。在本論文中我們以全溶液製程氧化鋅薄膜,其表面官能化上對一氧化氮極具高度親和力的官能基—氯化血紅素,建構出一氧化氮氣體感測器。
    本論文成功地驗證出元件相較於二氧化碳和氧氣,對一氧化氮氣體具有高度選擇性;而未官能化上氯化血紅素的感測器則無此特性。在一氧化氮氣體濃度小於百萬分之一時元件仍有偵測能力,其元件反應時間僅在數秒之內。利用高純度氮氣通入約100秒後,可使感測器具備可逆反應的特性。本論文所製作的元件能即時偵測出一氧化氮氣體濃度變化,未來可廣泛應用在生醫方面研究及藥物診斷上。


    摘要 I Abstract II 致謝 III 目錄 V 圖目錄 VII Chapter 1 序 論 1 1-1 前言 2 1-2 一氧化氮(nitric oxide;NO)在人體中扮演功能簡介 3 1-2-1發現過程及三大實驗簡介 4 1-2-2 NO在人體內的功用 7 1-3 研究動機 8 1-4 研究架構 9 Chapter 2 實驗原理 10 2-1 氧化鋅(ZnO)概論 11 2-2金屬半導體接觸(metal-semiconductor contact) 12 2-2-1金屬-半導體歐姆接觸 12 2-2-2金屬-半導體蕭特基接觸 14 2-3 NO gas sensor操作原理 15 Chapter 3 實驗製程、量測與材料 20 3-1 sensor製作流程 21 3-1-1 溶液配製 21 3-1-2 Glass 基板清洗 22 3-1-3 Al-doped ZnO 成膜 22 3-1-4 Al電極蒸鍍 23 3-1-5 hemin官能化 24 3-2 元件量測系統 26 3-3 材料介紹 27 3-3-1 Zinc oxide (ZnO) 27 3-3-2 hemin 28 3-3-3 polystyrene sphere 29 Chapter 4 實驗成果與討論 31 4-1 NO gas sensor製作 32 4-1-1摻鋁氧化鋅多孔性結構(porous Al-doped ZnO) 32 4-1-2 氯化血紅素(hemin)官能化於ZnO感測層之驗證 41 4-1-3 氯化血紅素(hemin)官能化時間及濃度對元件特性之影響 44 4-2 NO gas sensor元件特性測試 49 4-2-1 hemin官能化與否對於NO gas sensor影響之測試 49 4-2-2選擇性(selectivity)測試 52 4-2-3不同NO濃度對sensor電流影響之測試 56 4-2-4以sin wave及pulse形式之NO濃度動態量測 62 4-3 NO gas sensor保存方法 66 4-3-1真空保存下時間長短對reverse大小之影響 66 4-3-2保存在氮氣環境下對reverse大小之影響 69 4-3-3保存在液態環境下(DMSO、hemin solution)對reverse大小之影響 71 Chapter 5 結論 74 參考文獻 76

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