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| 研究生： |
張孫易 Chang, Sun-Yi |
|---|---|
| 論文名稱： |
磁控濺鍍之基板偏壓對於雙晶銅薄膜微結構與性質影響 Effect of substrate bias on properties and microstructure of nanotwinned Copper thin films deposited by magnetron sputtering systems |
| 指導教授： |
歐陽汎怡
Oyuang, Fang-Yi |
| 口試委員: |
杜經寧
Tu, King-Ning 廖建能 Liao, Chien-Neng |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2020 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 143 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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全文公開日期 2025/09/01 (校內網路)全文公開日期 2025/09/01 (校外網路)