簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
鄭紹良 Shao-Liang Cheng |
|---|---|
| 論文名稱： |
深次微米元件中鈦矽化物薄膜生成與熱穩定性之研究 The Study of Formation and Thermal Stability of Titanium Silicides Thin Films in Deep Submicron Devices |
| 指導教授： |
陳力俊
Lih-Juann Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 181 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)