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| 研究生： |
歐軒睿 Ou, Hsuan-Jui |
|---|---|
| 論文名稱： |
原子層沉積介電薄膜之特性探討 Study on the Characteristics of Dielectric Thin Films by Atomic Layer Deposition |
| 指導教授： |
邱博文
Chiu, Po-Wen |
| 口試委員: |
沈昌宏
Shen, Chang-Hong 李奎毅 Lee, Kuei-Yi |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 82 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2025/12/04 (校內網路)全文公開日期 2025/12/04 (校外網路)