研究生: |
賴南政 Lai, Nan-Cheng |
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論文名稱: |
利用高功率脈衝磁控濺鍍製備之氮化釩鉬薄膜氧化行為研究 The Oxidation Behavior of VMoN Thin Films Deposited by High Power Pulsed Magnetron Sputtering |
指導教授: |
黃嘉宏
Huang, Jia-Hong |
口試委員: |
藍貫哲
Lan, Kuan-Che 董曉明 Tung, Hsiao-Ming |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
論文出版年: | 2023 |
畢業學年度: | 111 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 84 |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
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