簡易檢索 / 詳目顯示

研究生: 游智翔
論文名稱: 多重bin層良率群集分析之研究
指導教授: 曾勝滄
Sheng-Tsaing Tseng
葉百堯
B. Arthur Yeh
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 理學院 - 統計學研究所
Institute of Statistics
論文出版年: 2001
畢業學年度: 89
語文別: 中文
論文頁數: 62
中文關鍵詞: 群集分析晶圓針測分群演算法階層式集群分析非階層式集群分析
外文關鍵詞: cluster, wafer probing, clustering algorithm, hierarchical cluster, nonhierarchical cluster
相關次數: 點閱:2下載:0
分享至:
查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報
  • 晶圓製造完成後,廠商會針對每個晶粒做一些基本的電性測試,做為評估此批lot品質好壞的重要指標,而分析針測結果可幫助廠商進行事故診斷。針測結果是由bin層與map兩個維度所組成,以往在分析時大都對bin層做壓縮,即以某bin層所得的map做分析探討,而本論文考慮針對map做壓縮,壓縮後的多重bin層良率表現屬於多項分配資料型態。本文定義適合多項分配資料型態的相似度,以此為基礎發展出一套分群演算法,包括階層式分群法與非階層式分群法,經由模擬結果與傳統分群演算法比較,並將此方法應用在多重bin層良率表現分類上。此外,製程以批量為單位進行生產,本論文利用上述結果,以批量為單位,同時考慮批量內部的平均表現與變異程度做群集分析,將表現相近的批量歸在同一群,提供工程師初步尋找事故原因的參考。


    第一章 緒論 1-1 研究背景與動機 1-2 研究目的 1-3 研究架構 第二章 IC製程概念與文獻探討 2-1 IC製程基本概念 2-2 問題描述 2-3 文獻探討 2-4 研究方法與限制 第三章 群集分析模型研究 3-1 群集分析簡介 3-2 相似度與檢定統計量 3-3 分群演算法 3-4 分群演算法之探討與比較 第四章 實例分析與結論 4-1 資料前置處理 4-2 批量群集分析 第五章 結論與後續研究 5-1 結論 5-2 未來研究方向 附錄 參考文獻

    【1】 林鼎浩,建構半導體製程資料挖礦架及其實證研究,國立清華大學碩士論文,2000。
    【2】 林惠娟,分群法之概述與實作,國立清華大學碩士論文,1999。
    【3】 蔡幸娥,適合度檢定統計量的檢定力研究,國立中正大學碩士論文,1999。
    【4】 蘇志明,一個找尋異常群集的快速分群演算法,國立交通大學碩士論文,1999。
    【5】 Aitchison J., “The Statistical Analysis of Compositional Data,” 1986.
    【6】 Cunningham, S. P., Spanos, C. J. and Voros, K.,” Semiconductor Yield Improvement: Results and Best Practices,” IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Vol. 8, No. 2, p. 103-109, 1995.
    【7】 Forgy E., “Cluster analysis of multivariate data: efficiency versus interpretability of classifications,” Biometrics, Vol. 21, p. 768, 1965.
    【8】 Maria C. M., “Performance of Eight Dissimilarity Coefficients to Cluster a Compositional Data Set,” Data science, classification, and related methods :: proceedings of the fifth Conference of the International Federation of Classification Societies, p. 162-169, 1996.
    【9】 McQueen J. B., “Some methods of classification and analysis of multivariate observations,” Proceedings of Fifth Berkeley Symposium on Mathematical Statistics and Probability, p. 281-297,1967.
    【10】 Noel, C. and Timothy R. C. Read, “Multinomial Goodness-of-fit Tests,” J. R. Statist. Soc. B, Vol. 46, No. 3, p. 440-464, 1984.
    【11】 Rastogi, P., Kozicki, M. N. and Golshani, G., ”Expro- An Expert System Based Process Management System,” IEEE Transactions on Semi- conductor Manufacturing, Vol. 6, No. 3, p. 207-218, 1993.
    【12】 Tou J. T., Gonzalez R. C., “Pattern Recognition Principles,” 1974.

    無法下載圖示 全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)
    全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
    QR CODE