研究生: |
游智翔 |
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論文名稱: |
多重bin層良率群集分析之研究 |
指導教授: |
曾勝滄
Sheng-Tsaing Tseng 葉百堯 B. Arthur Yeh |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
理學院 - 統計學研究所 Institute of Statistics |
論文出版年: | 2001 |
畢業學年度: | 89 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 62 |
中文關鍵詞: | 群集分析 、晶圓針測 、分群演算法 、階層式集群分析 、非階層式集群分析 |
外文關鍵詞: | cluster, wafer probing, clustering algorithm, hierarchical cluster, nonhierarchical cluster |
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晶圓製造完成後,廠商會針對每個晶粒做一些基本的電性測試,做為評估此批lot品質好壞的重要指標,而分析針測結果可幫助廠商進行事故診斷。針測結果是由bin層與map兩個維度所組成,以往在分析時大都對bin層做壓縮,即以某bin層所得的map做分析探討,而本論文考慮針對map做壓縮,壓縮後的多重bin層良率表現屬於多項分配資料型態。本文定義適合多項分配資料型態的相似度,以此為基礎發展出一套分群演算法,包括階層式分群法與非階層式分群法,經由模擬結果與傳統分群演算法比較,並將此方法應用在多重bin層良率表現分類上。此外,製程以批量為單位進行生產,本論文利用上述結果,以批量為單位,同時考慮批量內部的平均表現與變異程度做群集分析,將表現相近的批量歸在同一群,提供工程師初步尋找事故原因的參考。
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