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研究生: 郭文嘉
Kuo, Wen-Chia
論文名稱: 半導體蝕刻製程專家系統之建構
Construction of an expert system for semiconductor etching process
指導教授: 黃雪玲
Hwang, Sheue-Ling
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 工業工程與工程管理學系
Department of Industrial Engineering and Engineering Management
論文出版年: 2010
畢業學年度: 98
語文別: 中文
論文頁數: 61
中文關鍵詞: 半導體製造教育訓練VBA軟體專家系統蝕刻製程
外文關鍵詞: Semiconductor manufacting, Training, VBA software, Expert system, Etching process engineering
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  • 台灣半導體晶圓代工製造產業在世界佔有率為第一,為維持高的產值及設備稼動率,工程師需面臨手機開機及隨時待命(On Call)的狀況,造成工作壓力的繁重及生活品質的下降,而製造製程上的需求,常常需要接觸到一些有害的化學藥品(如HF、H2SO4…),增加工作上的風險,造成人力的流動率大,所以半導體製造廠常常面臨招募困難及人力短缺的問題,故當有新進同仁的加入,用人單位常常期望能儘快的做出貢獻,來減輕用人單位的負擔。
    鑑於E公司蝕刻部門,內部教育訓練資源分散,未能有效的整合,常常造成新人學習的困擾,本研究試圖藉由專家系統資料庫的建構,來整合課內的資源,方便新進同仁學習,正確的處理異常產品。
    本研究藉由Excel內所附VBA(Visual Basic for Applications)軟體來建構專家系統,整合用人單位(E公司蝕刻製程)處理異常產品的手法及經驗,當作系統的資料庫,並萃取專家(資深工程師)處理異常產品手法,建立專家知識法則,並採用知識法則庫,利用「若…則…」(If…Then…)架構來描述一個特定的狀態或因果的關係,來做為推論器之判斷標準,協助新進同仁處理異常產品,達到正確培養專業蝕刻製程新進同仁的目的,並且有效的保留資深工程師(專家)的異常產品處理手法,進而降低企業培訓成本及經驗流失風險的目標。
    本研究的結果驗證,可以有更嚴謹的思考,提醒工程師做該做的檢查及確認,防止異常大量產出,在異常資料找尋上,更可以縮短時間,方便新進同仁使用,對於公司在培訓新進同仁,異常資料的整理及保存有相當的貢獻。
    關鍵字:半導體製造、教育訓練、VBA軟體、專家系統、蝕刻製程。


    The market share of Taiwan semiconductor manufacturing industry is in the first place in global. The production mode has to be continuously keeping high output value and equipment utilization. In this way, the engineers are requested to be on call at any time. Moreover, for the demand of process, the engineers have contact some noxious chemicals very often, such as HF, H2SO4 etc. It raises working risk and causes high labor turnover rate. Consequently, the company is often eager to expect a new employee could offer some contribution quickly to ease the department’s burden.
    As far as the etching department in E-company is concerned, the inner-training resources are gathered and integrated inefficiently. A new employee is often perplexed to learn. In order to let a new employee learns easy, This research attempts to combine the section’s resources and shorten the time of dealing with the abnormal products through developing the expert system.
    In this research a expert system is developed by the VBA (Visual Basic for Applications) software of Excel to achieve the goal of shortening a new ET/PE employee’s training time and retaining the experts’s (senior engineers’s) coping strategy with abnormal products. The expert system takes the etching department’s (ET/PE in E-company)documents of handing the abnormal products as the database, sets up the expert know-how rules by extracting the experts’s (senior engineers’s)experiences on dealing with the abnormal products, and by adopting If…Then… rule to be the determining standard of inference implement.
    The research results show, can be more rigorous thinking, reminding the engineers to do the right check and confirmation, to prevent abnormal large number of products. The exception data to search, That you can reduce the time and convenience for new employee to use. The new employee training and preventing these experiences losing have significant contributions for the enterprise.
    Keywords:
    Semiconductor manufacting, Training, VBA software, Expert system,
    Etching process engineering.

    目錄 V 表目錄 VII 圖目錄 VIII 第一章 緒論 1 1.1研究背景 1 1.2研究動機 2 1.3研究目的 3 1.4研究流程與架構 4 第二章 文獻探討 5 2.1半導體蝕刻製程 5 2.2專家系統 8 2.3系統人機介面設計 11 2.4 EXCEL VBA簡介 14 第三章 研究方法 16 3.1資料收集及整理 17 3.2 EXCEL VBA軟體建構平台 20 第四章 研究結果與驗證 22 4.1研究結果 22 4.2系統驗證 29 4.2.1系統使用意見評估指標收集 29 4.2.2異常產品處理手法的比較 31 4.2.3資料找尋時間的比較 33 4.2.4綜合結果與討論 33 第五章 結論 35 5.1研究貢獻 35 5.2未來展望 35 參考文獻 36 附錄 39 附錄一:E公司訓練計畫表 39 附錄二:半導體蝕刻製程專有名詞解釋 40 附錄三:新進同仁注意事項 43 附錄四:蝕刻製程5月份異常狀況 44 附錄五:環境適應展示圖 52 附錄六:基本操作學習(FAB)展示圖: 54 附錄七:問卷回收 57

    1.莊達人,VLSI製造技術,高立出版,1997。
    2.Hong Xiao著,羅正忠、張鼎張譯,半導體製程技術導論,台灣培生出版,2006。
    3.徐明宜,國政基金會科技經濟組助理研究員科經,2002。
    4.商業周刊第 1015 期
    5.專業人士,維基百科 http://zh.wikipedia.org/zh-tw/%E5%B0%88%E5%AE%B6, 2007/11/22。
    6.薛理桂,專家系統在圖書館的應用,國立中央圖書館台灣分館館訊 5期:頁10,1991/07。
    7.姚步慎,人工智慧與專家系統導論,□峰資訊,頁3-40 ,1991。
    8.曾繁絹,「專家系統淺論」,資訊科學與技術專題論輯,李德竹編著,文華書館管理,頁289,1997。
    9.專家系統,維基百科http://zh.wikipedia.org/zh-tw/%E5%B0%88%E5%AE%B6%E7%B3%BB%E7%B5%B1,2007/12/14。
    10.人因工程學,維基百科http://zh.wikipedia.org/zh-tw/%E4%BA%BA%E6%9C%BA%E5%B7%A5%E7%A8%8B%E5%AD%A6,2009/08/09。
    11.呂秀英、呂椿棠,作物專家系統的建構與挑戰,作物生產及運銷專家系統整合與促進研討會論文,頁40-50,2005/12/26。
    12.人機互動,維基百科 http://zh.wikipedia.org/zh-tw/%E4%BA%BA%E6%A9%9F%E4%BB%8B%E9%9D%A2%E8%A3%9D%E7%BD%AE,2009/04/16。
    13.國立海洋大學丁培毅副教授網站http://squall.cs.ntou.edu.tw/UserInterface/index.html,2008/2/29。
    14.李青蓉、魏丕信、施郁芬、邱昭彰,人機介面設計,國立空中大學印行,頁12-61,1998/08。
    15.陳新明、陳京生,Excel 97 VBA及ODBC的應用,□峰資訊,頁2-1至2-5,1997/07。
    16.林仲鑫,Office VBA 程式進階-聯結各種Office資訊,松崗,頁1-2至1-6,1998/12。
    17.林立域,Visual Basic 6程式設計入門訓練,□峰資訊,2000。
    18.Jacobson,Reed著,林文宗譯 Microsoft Excel 2000 Visual Basic for Applications基礎教學,□峰資訊,2000。
    19.趙志東,Excel VBA很簡單,上奇科技,2007。
    20.林仲鑫,Office VBA程式進階-聯結各種Office資訊,松崗,1998。
    21.熊高生,EXCEL 2007 VBA應用實務 ,文魁資訊,2007。
    22.John Walkenbach著,林玲君、賴玉屏譯,精通Excel 2000 VBA,博碩文化,2000。
    23.謝志鋒、陳峰棋,深入淺出Access 2000資料庫程式設計,松崗,2000。
    24.龐涵怡,第一次學Access就上手 ,電腦人文化,2002。
    25.詹景裕、陳新明、陳京生,ACCESS 2000進階技巧-含巨集、VBA及Web應用,□峰資訊,2000。
    26.江高舉、劉緻儀,ACCESS 2007 VBA應用,□峰資訊, 2008。
    27.李春雄,Visual Basic與資料庫應用大全,松崗,2001。
    28.張淵仁,我想學Visual Basic無基礎嘛也通,電腦人文化, 2002。
    29.曾憲雄、黃國禎,人工智慧與專家系統-理論.實務.應用,旗標,2005。
    30.Ben Shneiderman、Catherine Plaisant著,曾志軒譯,人機介面- 有效的人機互動策略,臺灣培生教育,2005。
    31.Soren Lauesen著,曾俊儒、張世敏譯,人機介面設計,學貫行銷,2008。.

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