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研究生: 宋興禮
Sung, Shing-Li
論文名稱: 利用微波電漿輔助CVD法合成類鑽膜與碳氮化合物及其鑑定
Synthesis And Characterizations Of DLC Film And Carbon Nitride Compounds By Plasma Enhanced CVD
指導教授: 施漢章
Shih, Han-C
口試委員:
學位類別: 博士
Doctor
系所名稱: 工學院 - 材料科學工程學系
Materials Science and Engineering
畢業學年度: 86
語文別: 英文
論文頁數: 147
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