研究生: |
林志和 C. H. Lin |
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論文名稱: |
超音波平台之控制系統設計與測試 Control System Design and Characteristic Tests of an Ultrasonic Stage |
指導教授: |
歐陽敏盛
M. S. Ouyang |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
論文出版年: | 2002 |
畢業學年度: | 90 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 94 |
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