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研究生： 薛秋美
Chiu-Mei Shueh
論文名稱： 碲化鎘與銻化銦介面成分之研究
Concentration Measurement of Cd and Te in the Interface of CdTe/InSb Using Multiple-Wave X-Ray Diffraction
指導教授： 張石麟
Shih-Lin Chang
口試委員:
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 理學院 - 物理學系
Department of Physics
論文出版年： 2006
畢業學年度： 94
語文別： 中文
論文頁數： 53
中文關鍵詞： 三光相位 、介面 、共振繞射
外文關鍵詞： CdTe/InSb
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    • 本實驗主要是測量基底與薄膜介面成分的組成,
    利用X-ray三光複繞射測量薄膜CdTe與基底InSb在能量位於Cd L_{III}edge,
    即共振能量附近的相位變化,
    並選取一系列沿著垂直介面方向的動量變化q作為主級繞射,
    觀察不同深度(不同q值)相對於能量的共振相位變化,
    再比較利用結構因子所計算出的理論三光相位與實驗數值,
    進而決定出介面混合的比例。

    The concentration of Cd and Te in the interface of CdTe/InSb is measured by X-ray three-beam diffraction (002/-3-11) under resonant conditions.
    Because of anomalous scattering effects,
    phase shift due to resonance becomes much more appreciable in affecting the diffraction intensity.
    In this study we choose different momentum transfer qr normal to the interface and measure phase shift for each qr around the resonant energy, i.e., the Cd L_{III} edge.
    Comparsion between the experiment data and the theoretical analysis for the crystallographic phases of the structure-factor triplet leads to successful determination of Cd concertation in the interface region.

    第1章 前言 第2章 結構因子與三光相位 2.1 結構因子. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 2.2 異常色散. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 2.2.1 異常色散之推導. . . . . . . . . . . . . 12 2.2.2 費利德爾定律(Friedel’s law) . . . . . 15 2.3 三光複繞射與瑞尼格方法(Renninger method) 16 2.4 不變相位. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20 2.5 三光相位之計算. . . . . . . . . . . . . . . . . 21 第3章 實驗裝置與方法25 3.1 實驗設備. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 3.1.1 光束線實驗站. . . . . . . . . . . . . . 25 3.1.2 繞射儀. . . . . . . . . . . . . . . . . 26 3.1.3 實驗樣品. . . . . . . . . . . . . . . . 28 3.2 實驗方法. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 3.3 實驗數據. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 第4章 數據分析與理論計算37 4.1 數據分析. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37 4.2 理論計算. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42 4.2.1 CdTe結構因子之推導. . . . . . . . . . 42 4.2.2 介面結構因子之推導. . . . . . . . . . 43 第5章 結論與討論................................50

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