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| 研究生： |
温宜學 Wun, Yi-Syue |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用固液相共存熱退火a-GeSn/SOI結構製備富鍺之矽鍺薄膜 Fabrication of Ge-rich SiGe thin film by solid-liquid-coexisting annealing of a-GeSn/SOI structure |
| 指導教授： |
李明昌
Lee, Ming-Chang |
| 口試委員: |
巫勇賢
Wu, Yung-Hsien 古凱寧 Ku, Kai-Ning |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 光電工程研究所 Institute of Photonics Technologies |
| 論文出版年： | 2020 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 57 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2025/11/16 (校內網路)全文公開日期 2025/11/16 (校外網路)