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| 研究生： |
童建凡 Tong, Jian-Fan |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用電漿化學氣相沉積法以笑氣和氬稀釋技術製作可調控發光之過矽氧化層 Adjustable Emission Emitted from Silicon-Rich-Oxide Film Fabricated by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition with N2O/Ar Dilution Method |
| 指導教授： |
黃惠良
Hwang, Heuy-Liang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 86 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 25 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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