研究生: |
吳新怡 Wu, Hsin-Yi |
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論文名稱: |
錫團簇合成及開發並應用於極紫外光光阻 Synthesis and Development of Tin Clusters Applied to Extreme Ultraviolet Photoresists |
指導教授: |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
口試委員: |
邱博文
CHIU, PO-WEN 許博淵 Shew, Bor-Yuan |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
論文出版年: | 2018 |
畢業學年度: | 106 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 289 |
相關次數: | 點閱:4 下載:0 |
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