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| 研究生： |
吳佳蓉 Wu, Jia-Rong |
|---|---|
| 論文名稱： |
富含雙鍵的六錫氧化物團簇之合成作為光阻劑應用於極紫外光微影與電子束微影性能 Synthesis of double bond-rich Sn6-oxo clusters as photoresists for extreme ultraviolet lithography and electron beam lithography |
| 指導教授： |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
| 口試委員: |
高蔡勝
Gau, Tsi-Sheng 許博淵 Shew, Bor-Yuan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 179 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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