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研究生： 林詩傑
Lin, Shih-Jie
論文名稱： 氮化銦表面電子結構研究
Electronic Structure of Indium Nitride Surface
指導教授： 果尚志
Gwo, Shangjr
口試委員:
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 理學院 - 物理學系
Department of Physics
論文出版年： 2010
畢業學年度： 98
語文別： 中文
論文頁數： 70
中文關鍵詞： 氮化銦 、光電子能譜 、電子親和力 、表面能帶彎曲
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    • 摘要
    第一章前半部主要是背景介紹和文獻回顧，描述了氮化銦的材料特性和實際的應用價值，並點出目前氮化銦研究發展的情形和所遭遇的困境。第一章後半部則簡述氮化銦不同晶面的幾何結構，為後面第三章和第四章所提及的表面原子排列作事情的說明。
    第二章為儀器和原理介紹，其中包含了同步光源的簡介、光電子能譜的物理原理和低能電子繞射儀的儀器架設和工作原理。
    第三章為實驗內容，先說明表面處理技術的實驗流程和使用每個處理步驟的動機，接著以光電子能譜術、低能電子繞射儀和掃描式電子顯微術等量測方式釐清每個處理步驟的功用和確立整套處理技術的可行性和清潔效果。
    第四章為實驗分析，在確定表面處理技術有效且不會破壞氮化銦表面後，以光電子能譜術和霍爾量測分析不同極化面之氮化銦本質上表面能帶彎曲的情形，再藉由元素當量分析定出不同表面處理後的樣品對應的表面原子排列，釐清表面能帶彎曲和表面原子排列的關係；最後從結構上的觀點，定性的給出一個表面能帶彎曲的解釋。
    第五章為總結，把實驗的數據作一總體的歸納討論，並提出其我們研究成果的特殊之處。

    目錄 第一章 導論 1.1背景介紹和文獻回顧…………………………………………………………1 1.2氮化銦晶體結構………………………………………………………………7 1.3論文簡介………………………………………………………………………9 第二章 儀器介紹 2.1 同步輻射光源 ………………………………………………………………10 2.1.1 簡介………………………………………………………………………10 2.1.2 同步輻射設備……………………………………………………………10 2.1.3 同步輻射光的特性………………………………………………………12 2.1.4 同步輻射的研究與應用…………………………………………………13 2.2 光電子顯微術/能譜技術……………………………………………………14 2.2.1 簡介………………………………………………………………………14 2.2.2 基本原理…………………………………………………………………14 2.3 低能電子繞射分析術………………………………………………………16 2.3.1 簡介………………………………………………………………………16 2.3.2 儀器基本配備……………………………………………………………16 2.3.3 基本原理…………………………………………………………………17 第三章 氮化銦表面處理 3.1 發展表面處理技術之動……………………………………………………19 3.2 氮化銦表面處理流程和步驟說明…………………………………………22 3.2.1 表面處理流程……………………………………………………………22 3.2.2 步驟說明-氫氧化鉀溶液濕蝕 刻………………………………………23 3.2.3 步驟說明-氯化氫溶液濕蝕刻…………………………………………24 3.2.4 步驟說明-真空現場加熱………………………………………………25 3.3 處理方法各步驟之效果確立………………………………………………26 3.4 處理方法確立………………………………………………………………31 3.4.1 處理方法之效果確立……………………………………………………31 3.4.2 低能電子繞射圖形………………………………………………………34 3.4.3 掃描式電子顯微術………………………………………………………35 第四章 表面能帶彎曲和原子排列 4.1 表面能帶彎曲………………………………………………………………37 4.2 元素當量分析和表面原子排列……………………………………………41 4.3 表面能帶彎曲和表面原子排列……………………………………………48 4.4 氮化銦電子親和力量測……………………………………………………55 4.4.1 量測動機…………………………………………………………………55 4.4.2 電子親和力簡介…………………………………………………………56 4.4.3 實驗步驟…………………………………………………………………57 4.4.4 實驗結果與探討…………………………………………………………59 第五章 總結………………………………………………………………………64 Reference……………

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