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| 研究生： |
周柏文 Chow, Po-Wen |
|---|---|
| 論文名稱： |
機器學習演算法應用於先進製程多參數結構量測 Enhancing Semiconductor Process Control with Machine Learning: Advanced 3D Multi-Parameter Structural Metrology |
| 指導教授： |
顧逸霞
Ku, Yi-Sha |
| 口試委員: |
高蔡勝
戴良軒 陳科維 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
半導體研究學院 - 半導體研究學院 College of Semiconductor Research |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 56 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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全文公開日期 2029/06/30 (校內網路)全文公開日期 2029/06/30 (校外網路)