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| 研究生： |
張簡瑛雪 Chang Chien, Ying-Hsueh |
|---|---|
| 論文名稱： |
新型單晶圓處理器在半導體製造上去除氮化矽介電膜的應用 Development of a Novel Single-Wafer Processor in the Application of Silicon Nitride Dielectric Material Strip for Semiconductor Manufacturing |
| 指導教授： |
胡啟章
Hu, Chi-Chang |
| 口試委員: |
萬其超
Wan, Chi-Chao 溫添進 Wen, Ten-Chin 嚴必明 Yen, Bi-Ming 張進傳 Chang, Chin-Chuan |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 化學工程學系 Department of Chemical Engineering |
| 論文出版年： | 2019 |
| 畢業學年度： | 108 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 115 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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