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| 研究生： |
陳正士 Chen, C.S. |
|---|---|
| 論文名稱： |
鈦鋁氮薄膜的電性及擴散屏障之效應 Evaluation of Resistivity and Diffusion Barrier Effect in (Ti,Al)N Films |
| 指導教授： |
杜正恭
Duh, J.G. |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 85 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 141 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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