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| 研究生： |
洪啟超 Chi-Chao Hung |
|---|---|
| 論文名稱： |
電漿輔助系統中之鑽石合成與矽材料蝕刻研究 Diamond Synthesis and Silicon Etching in the Plasma Enhanced Systems |
| 指導教授： |
施漢章
Han-Chang Shih |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2001 |
| 畢業學年度： | 90 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 144 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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