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| 研究生： |
錢明谷 Ming-Goo Chien |
|---|---|
| 論文名稱： |
以反應性濺鍍法在氧化鋁基板上鍍覆氧化鉭薄膜之鍵結狀態與電性分析 Binding State and Electrical Properties in RF Sputtered Tantalum Oxide Thin Films on Al2O3 Substrate |
| 指導教授： |
杜正恭
Jenq-Gong Duh |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2001 |
| 畢業學年度： | 89 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 130 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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