研究生: |
張晉瑜 Chang, Chin-Yu |
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論文名稱: |
以相位回授技術實現可調式壓電微機電共振器 Tunable Piezoelectric MEMS Resonators via Phase Feedback Technique |
指導教授: |
李昇憲
Li, Sheng-Shian |
口試委員: |
方維倫
Fang, Weileun 李銘晃 Li, Ming-Huang 李尉彰 Li, Wei-Chang 鄭裕庭 Cheng, Yu-Ting 徐文祥 Hsu, Wensyang 邱一 Chiu, Yi 鮑世勇 Pao, Shih-Yung |
學位類別: |
博士 Doctor |
系所名稱: |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
論文出版年: | 2024 |
畢業學年度: | 112 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 139 |
相關次數: | 點閱:3 下載:0 |
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