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| 研究生： |
王麗萍 Lih-Ping Wang |
|---|---|
| 論文名稱： |
鋁銅╱氮化鈦╱鈦導線結構上鋁銅膜之織構、突起及電遷移之研究 A study on Al texture, hillock formation and electromigration in Al-0.5wt%Cu/TiN(/Ti)/SiO2/Si interconnect structure |
| 指導教授： |
黃振昌
Jenn-Chang Hwang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2000 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 116 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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