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| 研究生： |
劉子平 Tzu-Ping Liu |
|---|---|
| 論文名稱： |
下電極材料對化學氣相沉積Ta2O5薄膜應用在動態隨機存取記憶體影響之研究 The Study on the Influence of Various Bottom Electrode Materials to Ta2O5 Thin Films Deposited by Chemical Vapor Deposition for DRAMs Applications |
| 指導教授： |
吳泰伯
Tai-Bor Wu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2003 |
| 畢業學年度： | 91 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 164 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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