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| 研究生： |
林姿吟 Tzu-Yin Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
以電漿輔助化學氣相沉積法製備之低應力碳化矽薄膜於微機電應用之研究 Fabrication of Low Stress PECVD Silicon Carbide Films in MEMS Application |
| 指導教授： |
杜正恭
Jenq-Gong Duh |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2000 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 100 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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