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| 研究生： |
黃昱瑋 Huang, Yu-Wei |
|---|---|
| 論文名稱： |
在低溫後段製程下藉由氮化鈦金屬緩衝層與氧電漿預處理方式提升鐵電電容特性並緩解喚醒效應 Enhancing Characteristics and Alleviating Wake-up Effect of Ferroelectric Capacitors through TiN Metal Buffer Layer and Oxygen Plasma Pretreatment in Low-Thermal Budget BEOL Process |
| 指導教授： |
巫勇賢
Wu, Yung-Hsien |
| 口試委員: |
吳永俊
Wu, Yung-Chun 吳添立 Wu, Tian-Li |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 91 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2029/07/30 (校內網路)全文公開日期 2029/07/30 (校外網路)