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研究生: 陳麒麟
Chen,Chi Lin
論文名稱: 利用射頻電漿化學氣相沉積法(RFCVD) 在矽基材上沉積類鑽石膜及非晶質碳氫薄膜
The Deposition and Study of Amorphous Hydrogenated Carbon Films and Diamond Like Films
指導教授: 呂助增
Lue,Juh Tzeng
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 理學院 - 物理學系
Department of Physics
畢業學年度: 81
語文別: 中文
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