研究生: |
陳麒麟 Chen,Chi Lin |
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論文名稱: |
利用射頻電漿化學氣相沉積法(RFCVD) 在矽基材上沉積類鑽石膜及非晶質碳氫薄膜 The Deposition and Study of Amorphous Hydrogenated Carbon Films and Diamond Like Films |
指導教授: |
呂助增
Lue,Juh Tzeng |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
理學院 - 物理學系 Department of Physics |
畢業學年度: | 81 |
語文別: | 中文 |
相關次數: | 點閱:5 下載:0 |
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