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| 研究生： |
蔡佳凌 |
|---|---|
| 論文名稱： |
反應式直流磁控濺鍍法製備 (Al,Cr,Nb,Si,B,C)100-xNx 高熵薄膜之研究 Study on High-entropy Nitride Films of (Al,Cr,Nb,Si,B,C)100-xNx by DC Reactive Magnetron Sputtering |
| 指導教授： | 葉均蔚 |
| 口試委員: |
洪健龍
李勝隆 楊智超 孫道中 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2014 |
| 畢業學年度： | 102 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 208 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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